Mari kita bincangkan masalah yang wujud dengan penggunaan udara panas dalam proses pemprosesan semikonduktor. Kaedah ini sangat perlahan. Apabila kita bergantung pada udara panas untuk memindahkan haba ke permukaan wafer, sebenarnya kita sedang menggunakan “perantara” yang tidak berfungsi dengan efektif. Dalam proses pemprosesan yang kompleks, kelewatan ini merupakan halangan besar yang boleh mengganggu keseluruhan proses produksi.
Kita telah menemukan cara yang lebih baik: gantikan alat peniup udara tersebut dengan pemancar gelombang inframerah.
Masalah yang timbul akibat menunggu
Sistem penggunaan udara panas mempunyai banyak masalah berkaitan “inersia termal”. Kita perlu menunggu lama agar suhu di dalam ketuhar mencapai tahap yang diinginkan, dan kemudian perlu menunggu lagi agar haba tersebut dapat meresap ke dalam bahan yang diproses. Ini sangat menjengkelkan.
Sebaliknya, radiasi inframerah bergerak pada kelajuan cahaya, dan ia dapat sampai ke sasaran secara langsung. Masa yang diperlukan untuk proses pemanasan berkurangan dari beberapa minit menjadi beberapa saat sahaja. Dengan cara ini, kita dapat meningkatkan kelajuan proses produksi tanpa perlu menggunakan ruang yang lebih besar.
Penjimatan tenaga
Sistem penggunaan udara panas menyebabkan banyak haba hilang melalui saluran udara yang bocor. Ini merupakan pembaziran tenaga yang tidak perlu. Sebaliknya, radiasi inframerah dapat disalurkan tepat ke tempat yang diperlukan. Ini membantu mengurangkan beban pada sistem tenaga di fasiliti tersebut.
Selain itu, kawalan suhu juga lebih mudah dilakukan. Kita boleh menghidupkan atau mematikan fungsi pemanasan dan penyejukan dengan cepat. Tidak perlu lagi risau tentang suhu yang melebihi had yang ditetapkan – yang tentunya akan merosakkan lapisan semikonduktor yang sensitif.
Kelemahan penggunaan inframerah
Namun, inframerah juga mempunyai kelemahan. Radiasinya hanya dapat sampai ke tempat yang jelas kelihatan. Jika komponen yang diproses mempunyai bentuk yang aneh atau terdapat celah-celah yang dalam, radiasi mungkin tidak dapat sampai ke tempat tersebut. Kita perlu menggunakan pelbagai lampu atau reflektor untuk mengarahkan radiasi ke tempat yang diperlukan.
Satu lagi perkara: radiasi inframerah sangat kuat. Kita perlu memastikan sensor yang digunakan dikalibrasi dengan betul untuk mengukur haba yang dihasilkan oleh inframerah, bukan hanya suhu udara di sekitar. Jika tidak, bahan yang diproses boleh terbakar sebelum kita sedar bahawa udara di sekitarnya masih sejuk.