Berhenti memanaskan peralatan anda, bukannya wafer tersebut
Jika anda pernah menggunakan pemanas konveksi atau pemanas omnidirectional untuk mengawal suhu dalam mesin semikonduktor, anda pasti tahu betapa menyakitkannya pengalaman tersebut. Anda membelanjakan banyak tenaga, tetapi separuh daripada haba tersebut diserap oleh dinding dalaman mesin tersebut.
Ini merupakan situasi yang tidak efisien. Badan mesin akan menjadi panas, dan yang lebih penting lagi, para pekerja terpaksa bekerja di sekitar “radiator” yang besar ini. Ini bukanlah cara yang selamat, dan pasti juga tidak efisien.
Kami telah menemukan cara yang lebih baik: pemanasan inframerah berarah.
Mengapa pemanasan berarah berkesan
Fikirkan tentang pemanas biasa. Ia melepaskan haba ke semua arah – 360 darjah. Kami pula menggunakan tiub kuarsa berfrekuensi rendah serta reflektor yang tepat untuk mengarahkan haba tersebut. Alih-alih memanaskan udara, haba tersebut dialirkan terus ke permukaan wafer atau substrat. Haba tersebut akan kekal di sana, tanpa tersebar di udara atau diserap oleh logam.
Hasilnya? Suhu di dalam mesin dapat dicapai dengan mudah, sementara bahagian luar mesin tetap sejuk.
Cabaran yang perlu diatasi
Masalahnya adalah, kaedah ini memerlukan ketepatan yang tinggi. Inframerah berfrekuensi rendah sangat kuat, jadi ia dapat meningkatkan suhu dengan cepat. Namun, intensiti haba yang tinggi ini memerlukan reflektor yang tepat. Jika reflektor tersebut tidak disusun dengan tepat, haba akan tertumpu pada dinding mesin.
Itulah sebabnya kami tidak boleh berkompromi dari segi reka bentuk peralatan. Reflektor perlu dibuat dengan sangat teliti dan dipasang dengan rapat. Jika ia tidak disusun dengan sempurna, sistem tersebut tidak akan berfungsi.
Memudahkan kerja di tempat kerja
Dengan menggunakan pemanasan inframerah berarah, masalah “efek oven” dapat diatasi. Anda tidak perlu lagi berhadapan dengan udara panas yang berputar di dalam bilik bersih. Ini merupakan kelebihan besar bagi sistem HVAC, kerana ia tidak perlu bekerja keras untuk menyejukkan bilik tersebut.
Selain itu, pasukan kerja juga dapat berinteraksi dengan mesin tanpa risiko terbakar akibat haba yang terhasil. Ia merupakan perubahan yang mudah, namun ia membantu meningkatkan produktiviti tanpa membahayakan keselamatan pekerja.