Mendapatkan haba yang tepat dalam keadaan vakum
Ketika membuat semikonduktor, perkara terakhir yang kita inginkan ialah adanya zarah-zarah berselerak yang boleh merosakkan wafer tersebut. Namun, kita masih memerlukan haba—dan dalam kuantiti yang banyak. Di sinilah pemanas inframerah yang sesuai untuk penggunaan dalam keadaan vakum berguna. Daripada bergantung pada udara atau gas untuk mengalirkan haba (yang sebenarnya tidak berfungsi dalam keadaan vakum), pemanas ini menghantar tenaga radiasi secara langsung ke permukaan wafer.
Cara ini lebih efisien dan efektif.
Masalah berkaitan kepadatan tenaga
Dalam keadaan vakum, radiasi merupakan satu-satunya cara untuk menghasilkan haba. Kami mereka bentuk pemanas ini agar dapat menghasilkan haba dengan cepat dan efektif. Jika anda masih menggunakan kaedah pemanasan konvensional, anda mungkin akan membuang banyak tenaga hanya untuk memanaskan dinding bilik tersebut. Ia sama seperti cuba memanaskan seluruh rumah hanya untuk memastikan secawan kopi tetap panas. Inframerah gelombang pendek dapat mengatasi masalah ini. Ia memfokuskan haba pada wafer, bukannya pada mesin itu sendiri.
Hasilnya? Masa yang diperlukan untuk memanaskan wafer menjadi lebih singkat, dan bil elektrik juga berkurangan. Ini merupakan cara yang mudah untuk menjadikan bilik pengeluaran lebih mesra alam, tanpa menyusahkan para pekerja.
Bahan yang digunakan sangat penting
Anda tidak boleh menggunakan lampu biasa dalam keadaan vakum. Jika menggunakan kaca biasa, ia akan pecah atau akan melepaskan bahan kimia ke persekitaran. Ini tentu saja akan merosakkan hasil pengeluaran anda. Kami menggunakan kuarsa sintetik yang berkualiti tinggi untuk pembuatan pemanas ini, kerana ia mampu menahan tekanan yang tinggi. Kami juga memilih bahan yang sesuai untuk bahagian sambungan dan elektrod. Jika sambungan tersebut bocor, vakum akan hilang. Jika ada zarah kecil yang terlepas, wafer tersebut akan rosak. Kami tidak mahu mengambil risiko tersebut.
Kompromi yang perlu dihadapi
Masalahnya adalah, apabila tenaga yang besar digunakan dalam sistem pemanas inframerah ini, komponen-komponen lain turut terkesan. Wafer akan menjadi panas dengan cepat, tetapi haba yang terhasil perlu diarahkan ke suatu tempat. Jika sistem penyejukan tidak cukup kuat untuk menangani haba tersebut, proses pengeluaran akan terganggu. Ini sangat menyusahkan dan sukar untuk dikawal. Anda perlu memastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik sejak awal.
Berita baiknya? Kami telah mereka bentuk pemanas ini supaya boleh digantikan dengan mudah. Anda boleh menggantikan pemanas lama dengan pemanas ini, seterusnya mengurangkan pembaziran tenaga—tanpa perlu membaiki keseluruhan sistem pengeluaran anda.