Cessez de laisser des lampes infrarouges endommagées ruiner votre productivité.
Dans un système de semi-conducteurs à forte charge, une lampe infrarouge endommagée n’est pas simplement un problème de panne temporaire : c’est un véritable cauchemar. Lorsqu’un tube en quartz se brise, il ne s’agit plus seulement d’une ampoule HS. Des éclats de verre et du gaz halogène tombent directement sur les wafers. Un seul accident suffit pour que toute la série de wafers soit gâchée. Ensuite, il reste à nettoyer toute la chambre de traitement.
Nous avons trouvé une solution meilleure : au lieu de laisser ces lampes exposées, nous les enveloppons dans des boîtiers en acier inoxydable sur mesure.
Gardez le désordre à l’intérieur
Imaginez ces boîtiers comme des cages de sécurité. Ils sont fabriqués en acier inoxydable de haute qualité, ce qui leur permet de servir de barrière physique. Si un tube se brise ou se fissure à cause de la chaleur, les débris restent enfermés à l’intérieur du boîtier en acier. Ils ne touchent jamais les wafers.
Nous utilisons des ouvertures précisément découpées qui permettent à les rayonnements infrarouges de passer, tout en empêchant les débris de sortir.
Gérer la chaleur
L’acier inoxydable est certes efficace pour contenir les débris, mais il ajoute également de la masse thermique. Il faut donc tenir compte de cela lorsqu’on calcule les temps de mise en marche du système. Nous utilisons également des alliages spéciaux qui ne s’oxydent pas lorsqu’ils sont exposés à de hautes températures. C’est important, car on ne veut pas que le boîtier lui-même se détache ou libère des substances nocives dans l’environnement.
L’adaptation
Il faut que le boîtier soit bien ajusté. S’il est trop serré, la lampe risque de se briser en se dilatant et en heurtant des bords rigides. Nous prévoyons donc une marge de manœuvre – des tolérances calculées – afin que la lampe puisse se dilater et se contracter sans se casser.
Le compromis
Le problème, c’est que l’ajout d’un boîtier crée une plus grande distance entre le filament et les wafers. Cela signifie que le flux de chaleur direct diminue légèrement. Pour y remédier, il peut être nécessaire d’augmenter la puissance de la lampe ou de laisser les wafers rester plus longtemps dans la chambre de traitement, afin de maintenir une productivité adéquate.
C’est un petit prix à payer pour éviter de perdre toute une série de wafers. Assurez-vous simplement d’utiliser des fils électriques résistants aux hautes températures, et de placer correctement les ventilateurs de refroidissement. Vous ne voulez pas que le boîtier transfère sa chaleur au reste du boîtier.