Arrêtez de gaspiller de la chaleur lors du traitement des wafer en silicium
Lorsque vous chauffez un wafer en silicium, chaque watt compte. Mais voici le problème : les lampes infrarouges standards sont inefficaces. Elles dispersent l’énergie partout sauf là où elle devrait réellement aller, c’est-à-dire sur la surface du wafer.
Nous avons résolu ce problème en utilisant des réflecteurs recouverts d’or. Au lieu de laisser cette chaleur se disperser, nous dirigeons directement le spectre infrarouge vers la surface du wafer.
Pourquoi de l’or ?
Ce n’est pas à cause de son apparence métallique. L’or reflète beaucoup mieux la lumière infrarouge que l’aluminium ou l’acier poli. En ajoutant une fine couche d’or, nous évitons que le réflecteur ne capte lui-même la chaleur. La plupart de cette énergie est ainsi redirigée vers le wafer. Vous obtenez ainsi un flux thermique bien plus élevé, sans avoir besoin d’augmenter excessivement la tension. De plus, le châssis de votre machine reste plus frais, car la chaleur va directement dans le chip, et non dans le châssis lui-même.
Les inconvénients d’une grande densité énergétique
Focaliser toute cette énergie présente des avantages, mais aussi des inconvénients. D’un côté, les temps de chauffage sont courts et la température sur tout le wafer est uniforme. Mais cela exerce une forte pression sur les capteurs de contrôle. Si votre régulateur PID n’est pas adapté à ce type de transfert rapide de chaleur, vous risquez de dépasser la température cible. Cela se produit très rapidement.
Les compromis
Honnêtement, l’or est cher et fragile. Il offre les meilleures performances thermiques possibles, mais il ne peut pas résister aux agressions externes. Les produits chimiques corrosifs ou un mauvais entretien peuvent le endommager. Il faut donc garder ces réflecteurs impeccablement propres. Même quelques empreintes digitales ou une fine couche de poussière peuvent réduire leur efficacité. Cela provoque des zones chaudes, ce qui entraîne des déformations ou un dopage inégal. Ce n’est vraiment pas idéal.
Nous avons conçu ces systèmes pour ceux qui ont besoin d’une précision absolue. Vous obtenez ainsi un meilleur contrôle thermique, et vos factures d’électricité diminuent. Un conseil : assurez-vous que votre système de refroidissement puisse gérer la chaleur concentrée dans le boîtier de la lampe.