در فرآیندهای تولید، بودجه حرارتی چیزی نیست که بتوان آن را نادیده گرفت؛ بلکه مرزی است که نباید از آن فراتر رفت. هرگونه اختلاف در دمای فرآیند پختن رزیست فوتوغرافی، باعث میشود یکنواختی سطح سیدی مختل شود. همچنین، وجود نقاط سرد در حین خشک کردن ویفر، باعث میشود دوباره مشکلات مربوط به لکههای روی سطح سیدی پیش بیاید. ما لامپهای مادون قرمز مورد استفاده در پانلهای لمسی را طوری طراحی کردهایم که بتوانند در چنین شرایطی عمل کنند؛ یعنی گرمای مورد نیاز را دقیقاً در جای مناسب تأمین کنند.
نکات مهم درباره عملکرد این لامپها
ما از فرستندههای نور مادون قرمز کوتاهامواج در ماژولهای کوارتزی استفاده میکنیم؛ بنابراین پاسخگویی این لامپها سریع بوده و بدون ایجاد فشار بر روی سطح مورد نظر، گرمای لازم را تأمین میکنند. یکنواختی دما در منطقه اتصال، در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ همچنین، تکرارپذیری این لامپها در هر بار استفاده، بسیار خوب است. این لامپها برای استفاده در محیطهای تمیز طراحی شدهاند؛ همچنین، این لامپها هیچ ذرهای را در محیط اطراف پخش نمیکنند. این لامپها برای کار ۲۴ ساعته مناسب هستند؛ لامپهای مورد استفاده در محیطهای واقعی، بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کردهاند و کاهش عملکرد آنها کمتر از ۵٪ بوده است.
چرا این لامپها برای کارهای ما مناسب هستند
در فرآیندهای خشک کردن و تمیز کردن ویفر، این لامپها میتوانند رطوبت را به سرعت از بین ببرند، بدون اینکه دمای سطح مورد نظر افزایش یابد. در فرآیند پختن رزیست فوتوغرافی نیز، این لامپها میتوانند دمای مناسبی را فراهم کنند؛ بنابراین، یکنواختی سطح سیدی حفظ میشود. در فرآیند بستهبندی نیز، این لامپها میتوانند مواد چسبنده را به طور یکنواخت خشک کنند؛ در نتیجه، نیاز به تعمیرات کمتری وجود دارد. همچنین، از آنجایی که گرما به صورت دقیق و در زمان مناسب تأمین میشود، مصرف انرژی نیز کاهش مییابد.
جزئیات عملی که باید در نظر گرفته شوند
برای نصب این لامپها، به یک منبع تغذیه مناسب و محل نصب تمیز و بهینه نیاز است؛ تا فاصله کانونی لامپ در جای مناسب باقی بماند. این لامپها در سطوح صاف و بازتابنده عملکرد بهتری دارند؛ اگر سطح مورد نظر دارای ساختار پیچیده یا توانایی جذب بالایی باشد، لازم است مقدار توان لامپ را تنظیم کنیم. ما یک سیستم اتصال سریع و روشی برای تنظیم شدت نور و زمان کار لامپ در نظر گرفتهایم؛ این کار باعث میشود که عملکرد لامپ در هر بار استفاده یکنواخت باشد.