چرا استفاده از کپهای سرامیکی برای انتشارکنندههای مادونقرمز بسیار مهم است؟
در کارخانههای تولید نیمههادی، نمیتوانید از حرارت بیش از حد استفاده کنید؛ بلکه باید دقیقاً مقدار مناسبی از حرارت را داشته باشید، و این کار نیز باید به سرعت انجام شود. اکثر ما از انتشارکنندههای مادونقرمز برای ایجاد حرارت سریع استفاده میکنیم، اما مشکل اصلی در نقطهای است که عنصر گرمایشی با منبع تغذیه در تماس است؛ معمولاً در همین نقطه مشکلات پیش میآید.
به همین دلیل از کپهای سرامیکی استفاده میکنیم.
حفظ سرما در نقاط مهم
میتوانید کپهای سرامیکی را مانند محافظی برای انتشارکنندههای مادونقرمز در نظر بگیرید. وقتی از تجهیزاتی با توان بالا استفاده میکنید، لولههای کوارتزی دچار گرمای شدید میشوند. اگر از مواد ارزانقیمت استفاده کنید، این گرما در سیمها باقی نمیماند و دوباره به سمت تجهیزات بازمیگردد. در نتیجه، عایقهای الکتریکی خراب شده و سیستم از کار میافتد.
کپهای سرامیکی این گرما را جذب میکنند؛ بنابراین اتصالات الکتریکی در حالتی ثابت باقی میمانند، حتی زمانی که انتشارکنندهها تحت فشار قرار میگیرند.
جلوگیری از اتلاف انرژی
همه درباره «کارخانههای سبز» و تأثیرات زیستمحیطی صحبت میکنند، اما برای ما این موضوع سادهتر است؛ یعنی جلوگیری از اتلاف انرژی.
وقتی کپها خراب میشوند یا اجازه میدهند حرارت از بین برود، سیستم مجبور است بیشتر کار کند تا به دمای مورد نظر برسد. من این مشکل را در تجهیزات قدیمی مدام مشاهده کردهام. با استفاده از کپهای سرامیکی با کیفیت بالا، میتوانیم از اتلاف انرژی جلوگیری کنیم. کمتر اتلاف انرژی به معنای کمتر مصرف انرژی برای تولید هر ویفر است. این یک قاعده ساده است.
نکته مهم: فشار زیاد ندهید!
البته، یک معایبی نیز وجود دارد؛ کپهای سرامیکی سفت هستند و نمیتوانند خم شوند. اگر محل نصب آنها کمی نادرست باشد، یا ماشین کمی لرزش داشته باشد، کپهای سرامیکی خراب خواهند شد. نمیتوانید آنها را با زور در جای خود نگه دارید؛ باید قبل از شروع کار، محل نصب آنها را کاملاً صحیح تنظیم کنید. در غیر این صورت، در همان اولین چرخه حرارتی، مشکلات مکانی پیش خواهد آمد.
حفظ کیفیت هوا در اتاقهای تمیز
همچنین، کیفیت هوا نیز مهم است. عایقهای پلاستیکی یا کامپوزیتی، وقتی گرم میشوند، مواد آلی فرار را آزاد میکنند؛ این مواد میتوانند باعث آلودگی سطح ویفرها شوند. اما کپهای سرامیکی چنین کاری نمیکنند؛ بنابراین ویفرها نیز تمیز باقی میمانند.