کنار گذاشتن استفاده از هوای داغ و جایگزینی آن با تابش مادون قرمز در فرآیندهای نیمههادی
بیایید درباره مشکلات مربوط به استفاده از هوای داغ صحبت کنیم. این روش بسیار کند عمل میکند.
وقتی که از هوای داغ برای منتقل کردن حرارت به ویفرها استفاده میکنیم، در واقع یک واسطه اضافی وجود دارد که کار چندانی انجام نمیدهد. در فرآیندهای پیچیده، این تأخیر میتواند مشکلات زیادی ایجاد کند.
ما راه بهتری پیدا کردهایم: جایگزین کردن آن بلوئرها با فرستندههای تابش مادون قرمز.
مشکلات ناشی از انتظار
سیستمهای هوای داغ دارای «انرژی حرارتی زیادی» هستند؛ بنابراین باید مدت زمان زیادی صبر کنیم تا فر به دمای مناسب برسد، و سپس دوباره باید صبر کنیم تا حرارت واقعاً وارد مواد شود. این کار بسیار آزاردهنده است.
تابش مادون قرمز متفاوت است؛ این تابش با سرعت نور حرکت میکند و مستقیماً به هدف میرسد. زمان لازم برای رسیدن به دمای مورد نظر از دقایق به ثوانی کاهش مییابد. در نتیجه، میتوانیم حجم بیشتری از کار را انجام دهیم، بدون اینکه نیاز به فضای بیشتری داشته باشیم.
صرفهجویی در انرژی
گردش هوا کار پیچیدهای است؛ بخش زیادی از حرارت از طریق سوراخها و لولهها از بین میرود. در واقع، ما در حال پرداخت هزینه انرژیای هستیم که در هوا از بین میرود.
تابش مادون قرمز دقیقتر عمل میکند؛ انرژی دقیقاً در جایی که مورد نیاز است، تخصیص داده میشود. این کار فشار زیادی را از شبکه برق تأسیسات ما کم میکند.
علاوه بر این، کنترل این سیستم نیز بهتر است؛ میتوانیم فرآیندهای گرم کردن و سرد کردن را به سرعت فعال یا غیرفعال کنیم. دیگر نیازی نیست نگران فراتر رفتن از دمای مورد نظر باشیم؛ چون همانطور که میدانیم، این کار سریعترین راه برای خراب شدن لایههای حساس نیمههادی است.
معایب
البته، این روش جادویی نیست؛ تابش مادون قرمز فقط در خط دید قرار دارد.
اگر قطعات ما شکل عجیبی داشته باشند یا فضاهای عمیقی داشته باشند، تابش ممکن است برخی از نقاط را نادیده بگیرد. نمیتوانیم حرارت را مستقیماً به یک گوشه بفرستیم؛ بنابراین باید از سیستمهای چندلامپی یا بازتابندهها برای ارسال انرژی به آن نقاط استفاده کنیم.
یک نکته دیگر این است که تابش مادون قرمز بسیار قوی است؛ بنابراین باید مطمئن شویم که حسگرهای ما برای اندازهگیری حرارت تابشی تنظیم شدهاند، نه فقط دمای هوای اطراف. در غیر این صورت، ممکن است قبل از اینکه متوجه شویم هوا هنوز سرد است، سطح قطعات را خراب کنیم.