در فرآیند لیتوگرافی، یکنواختی دمای PEB در سراسر ویفر، عامل کلیدی برای کنترل خطایات تصویربرداری و همچنین کنترل استحکام لایههای رزیستور فوتوگرافی است. حتی تغییرات جزئی در دما، میتواند باعث اختلال در فرآیند تقویت شیمیایی رزیستور فوتوگرافی، تغییر در مقدار ولتاژ ورودی، و تغییر در انتخابی بودن فرآیند حکاکی شود؛ در نتیجه، ساعتها زمان صرف فرآیندهای تصویربرداری و اندازهگیری بیهوده خواهد شد.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد:
ما هیتر PEB را به گونهای طراحی کردهایم که یکنواختی دمایی در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باشد؛ همچنین دمای حرارتی مورد نیاز برای پخت رزیستور فوتوگرافی، در تمام مراحل فرآیند، دقیقاً بر روی مقدار تنظیم شده باقی میماند. این سیستم هم فرآیند پخت ملایم و هم فرآیند پخت شدید را انجام میدهد؛ همچنین نرخ تغییر دما نیز ثابت است؛ بنابراین دیگر نیازی به کنترل مداوم تغییرات دما در بین محمولههای مختلف نیست.
فرستندههای موج کوتاه قسمت کوارتز-هالوژن، پاسخ سریع و دقیقی ارائه میدهند؛ همچنین، طراحی بخشهای گرمایی به گونهای است که تعادل دمایی در سراسر سطح ویفر حفظ شود. برای اتاقهای پاکسازی در کلاس ۱ تا ۱۰۰، از موادی استفاده میشود که گاز کمی تولید کنند؛ همچنین، سیستم به گونهای طراحی شده است که در شرایط عادی، هیچ ذرهای تولید نشود؛ بنابراین تعداد ذرات در محدوده مشخصی باقی میماند و نیازی به فیلترهای اضافی نیست.
این سیستم برای کار ۲۴ ساعته در کارخانههای چندشیفتی طراحی شده است؛ همچنین، مدیریت انرژی نیز به گونهای است که هزینه تولید هر ویفر ثابت بماند.
چرا این سیستم در کارخانههای واقعی کارآمد است:
به یک فرآیند پخت نیاز داریم که در ساعت ۳ صبح نیز همانند ساعت ۳ بعدازظهر، در تمام شرایط و اندازههای ویفرها، عملکرد یکسانی داشته باشد. این هیتر PEB، مرحله پخت پس از تصویربرداری را کنترل میکند؛ بنابراین کنترل خطایات تصویربرداری و استحکام لایههای رزیستور فوتوگرافی حفظ میشود. در نتیجه، تعداد کارهای تکراری کاهش مییابد، توزیع خطاها بهتر میشود و زمان لازم برای تولید نیز قابل پیشبینی خواهد بود.
آنچه باید از قبل بدانید:
نصب این سیستم به یکپارچهسازی دقیق آن با سیستمهای کنترل دما و سیستمهای تخلیه گاز وابسته است. برای هر لایه رزیستور فوتوگرافی، باید فرآیند تنظیم موقتی انجام شود؛ پس از آن، تکرارپذیری عملکرد هیتر کاهش مییابد؛ اما این فرآیند تنظیم اولیه الزامی است.