
حفظ ایمنی: استفاده از گرمکنهای مادون قرمز در فرآیندهای تمیزکاری شیمیایی
وقتی که با خطوط تولید نیمههادی سروکار دارید، معمولاً با حلالهایی کار میکنید که اصلاً دوست ندارند در معرض جرقه قرار بگیرند. اگر یک لامپ گرمکن مادون قرمز را در این محیط استفاده کنید، مشکلات زیادی پیش خواهد آمد. حتی یک جرقه کوچک یا گرمای بیش از حد، میتواند منجر به آتشسوزی شود.
ما برای جلوگیری از این مشکلات، گرمکن را در یک ساختار محافظتی قرار میدهیم. عناصر گرمایشی و ترموکوپلها را از گازهای موجود در هوا جدا میکنیم تا اصلاً با آنها تماس پیدا نکنند.
راز موفقیت در محافظت، در درزبندیهاست
لامپها را در لولههای کوارتز با خلوص بالا میپیچیم و آنها را با درزبندیهای سرامیکی-فلزی محکم میکنیم. این کار، یک دیوار فیزیکی برای جداسازی لامپ از گازهای شیمیایی است. لامپ در یک سمت قرار میگیرد و گازهای شیمیایی در سمت دیگر.
برای سیمکشی نیز، ریسکی را به جان نمیخواهیم برد. از جلبکهای PTFE یا PFA برای پوشاندن سیمها استفاده میکنیم. چرا؟ چون این مواد شیمیایی میتوانند سیمهای معمولی را در مدت کوتاهی از بین ببرند.
همین کار را برای ترموکوپل نیز انجام میدهیم. به جای قرار دادن سنسور در محیط باز، آن را در یک پوشش محکم قرار میدهیم. سپس، نقاط اتصال را با اپوکسی یا مواد شیشهای محکم میکنیم. در این صورت، هیچ نشتی وجود نخواهد داشت و گازهای فرار وارد بدنه الکتریکی نخواهند شد. ساده است!
تنظیم دما به درستی
راز واقعی، در سیستم بازخوردی است. ترموکوپل را مستقیماً در کنار لوله کوارتز یا سطح گرمکن قرار میدهیم. این کار، تأخیر حرارتی را کاهش میدهد؛ یعنی سنسور متوجه میشود که گرمکن از حد مجاز گرم شده است.
بنابراین، کنترلر PID میتواند افزایش دما را قبل از رسیدن به نقطه انفجار مواد شیمیایی تشخیص دهد. این کار، اطمینان لازم را فراهم میکند.
اما مشکل اینجاست که محافظت بیشتر، به معنای جرم حرارتی بیشتر است. به عبارت ساده، لامپ به سرعت گرم نخواهد شد؛ زمان لازم برای گرم شدن آن بیشتر خواهد بود. مطمئن شوید که منبع تغذیه میتواند این فشار اولیه را تحمل کند.
نصب و نگهداری
ما این دستگاهها را به عنوان جایگزینهای ساده طراحی میکنیم. تا زمانی که تمام درزبندیها را بررسی نکنیم، آنها را ارسال نمیکنیم. اگر یکی از درزبندیها دچار مشکل شود، ویژگی «مقاومت در برابر انفجار» از بین خواهد رفت.
پس از نصب، باید مرتب لولههای کوارتز را بررسی کنید تا از وجود ترکهای ناشی از فشار جلوگیری شود. این یک عادت کوچک است، اما تنها راه برای حفظ سطح ایمنی مورد نیاز است.