دیگر اجازه ندهید که لامپهای مادون قرمز خراب، باعث از بین رفتن محصولات تولید شده شوند.
در سیستمهای نیمههادی با بار کاری بالا، خراب شدن یک لامپ مادون قرمز فقط مشکلی در زمینه توقف فعالیت دستگاه نیست؛ بلکه یک فاجعه واقعی است.
وقتی لوله کوارتزی لامپ خراب میشود، شما فقط با یک لامپ خراب روبرو نیستید؛ بلکه تکههای شیشه و گاز هالوژن نیز به سمت ویفرها میافتند. با یک بار خرابی، کل محصولات تولید شده بیارزش میشوند. سپس کار تمیز کردن کل محفظه دستگاه آغاز میشود.
ما راه بهتری پیدا کردیم؛ به جای اینکه این لامپها را بدون محافظ قرار دهیم، آنها را در محافظهای فولادی ساخته شده از فولاد ضدزنگ قرار میدهیم.
نگه داشتن آشفتگی در داخل
میتوانید این محافظها را مانند یک قفس ایمنی در نظر بگیرید. ما این محافظها را از فولاد ضدزنگ با کیفیت بالا ساختهایم تا به عنوان یک دیوار فیزیکی عمل کنند. اگر لوله لامپ به دلیل گرما خراب شود، تکههای شیشه درون محافظ فولادی باقی میمانند و به ویفرها آسیبی نمیرسد.
ما از سوراخهای دقیقی استفاده میکنیم تا پرتوهای مادون قرمز بتوانند از آنها عبور کنند، اما تکههای شیشه در جای خود باقی بمانند.
مقابله با گرما
فولاد ضدزنگ برای نگه داشتن تکههای شیشه عالی است، اما باعث افزایش جرم حرارتی میشود. بنابراین باید هنگام تعیین زمان لازم برای راهاندازی دستگاه، این موضوع را در نظر بگیرید.
همچنین از آلیاژهایی استفاده میکنیم که در دماهای بالا اکسید نمیشوند؛ این موضوع مهم است، زیرا نمیخواهیم که خود محافظ فولادی از بین برود یا گازهای مضری در محیط اطراف تولید شود.
تنظیم مناسب
فاصله بین رشتههای الکتریکی لامپ و ویفرها نیز باید مناسب باشد؛ اگر فاصله بیش از حد باشد، لامپ در هنگام گرم شدن خراب خواهد شد. ما فاصله مناسبی را در نظر میگیریم تا لامپ بتواند بدون خراب شدن، گرم و سرد شود.
توازن میان مزایا و معایب
معایب این روش این است که استفاده از محافظ، فاصله بین رشتههای الکتریکی لامپ و ویفرها را افزایش میدهد؛ در نتیجه شدت گرمای وارد شده به ویفرها کمی کاهش مییابد. برای جبران این موضوع، ممکن است لازم باشد توان لامپ را افزایش دهید یا زمان لازم برای تولید محصولات را طولانیتر کنید.
این قیمت کوچکی است که برای جلوگیری از از بین رفتن کل محصولات تولید شده باید پرداخت شود.
فقط مطمئن شوید که از سیمهای با تحمل دمای بالا برای اتصالات استفاده کنید و فنهای خنککننده را نیز در موقعیت مناسبی قرار دهید؛ نمیخواهید که گرمای محافظ، سایر بخشهای دستگاه را تحت تأثیر قرار دهد.