Správné zahřívání v vakuu
Při výrobě polovodičů rozhodně nechcete, aby nějaká cizí částice poškodila desku. Ale stále potřebujete teplo – a to hodně. Právě proto se používají IR topny kompatibilní s vakuem. Místo toho, abyste spoléhali na vzduch nebo plyn k přenosu tepla (což vakuem stejně nefunguje), tyto topny vysílají zářivou energii přímo na substrát.
Je to efektivní a přímé řešení.
Problém s hustotou výkonu
V vakuu je záření jediným prostředkem k přenosu tepla. Tyto topny jsou navrženy tak, aby působily silně a rychle.
Pokud stále používáte staromódní rezistivní topny, pravděpodobně plýtváte spoustou energie pouze na ohřev stěn vaší komory. Je to jako snažit se ohřát celý dům jen proto, abyste udrželi v teple jednu šálek kávy. Krátkovlnné IR topny to mění – zaměřují se na desku, ne na celý stroj.
Výsledkem je delší doba nasazení zařízení a nižší účty za elektřinu. Je to jednoduchý způsob, jak udělat z čisté místnosti ekologičtější prostředí, aniž by to zkomplikovalo práci operátorům.
Materiály opravdu mají význam
Nemůžete prostě jen tak vhodit do vakuua jakoukoliv lampu. Pokud použijete běžné sklo, buď se rozbije, nebo začne uvolňovat chemikálie do okolního prostředí. To je katastrofa pro kvalitu výroby.
My používáme syntetický křemen vysoké čistoty – ten dokáže odolat tlaku. Stejně pečlivě vybíráme i těsnění a elektrody. Pokud těsnění selže, vakuum zmizí. Pokud se uvolní jediná částice, deska je zničena. Nehodláme riskovat.
Kompromisy
Potíž spočívá v tom, že když do IR topných elementů přivedete tak velký výkon, celá konstrukce zařízení musí odolat tomuto tlaku. Deska se rychle zahřeje, ale odražené teplo musí někam odejít. Pokud váš chladicí systém není dostatečně silný, začnete mít problémy s kalibrací. Musíte si ujistit, že chladicí systém je od začátku správně navržen.
Dobrá zpráva? Tyto topny jsou navrženy tak, aby mohly nahradit staré topny. Můžete tak ušetřit energii a zároveň zlepšit kvalitu výroby – to vše bez nutnosti rozmontovat celou výrobní linku.