লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, ওয়েফারের সর্বত্র পিইবি-এর তাপমাত্রা সমান থাকাটাই আসলে CD নিয়ন্ত্রণ ও ওভারলে প্রক্রিয়াকে নিয়ন্ত্রণ করে। মাত্র কয়েক দশমিক...

Fab floor-এ, soft bake-এ 0.2°C এর ড্রিফট পুরো প্রক্রিয়াটি নষ্ট করতে পারে। আপনি দেখবেন photoresist প্রান্তে পাতলা হচ্ছে, critical dimension বিস্তার...