http://warm-ir-heater-expert.com/zh/tags/%E5%B8%96%E5%AD%90/ Recent content in 帖子 on Expert Warm IR Heating Solutions Hugo zh Wed, 17 Jun 2026 11:10:58 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/zh/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Wed, 17 Jun 2026 11:10:58 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/zh/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-expert.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="曝光后烘烤加热器"></p> <p>在光刻生产中，决定CD控制精度和图形对准效果的关键因素，其实是晶圆表面的PEB温度均匀性。哪怕只有几十分之一的度数偏差，都会影响光刻胶的化学放大效果、改变偏压值，进而影响蚀刻的选择性。这样一来，原本需要数小时才能完成的曝光和测量工作就<a href="https://goldisgood.com">白费了</a>。</p>