http://warm-ir-heater-expert.com/zh/tags/%E5%88%86%E5%8C%BA%E8%AE%BE%E7%BD%AE/ Recent content in 分区设置 on Expert Warm IR Heating Solutions Hugo zh Mon, 29 Jun 2026 02:27:25 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/zh/posts/zoned-wafer-drying-infrared-panel/ Mon, 29 Jun 2026 02:27:25 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/zh/posts/zoned-wafer-drying-infrared-panel/ <p><img src="http://warm-ir-heater-expert.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="分区式晶圆干燥红外面板"></p> <p>在300毫米光刻线路上，清洗后残留的薄层水膜会严重影响生产效率。残留的水分会破坏光阻层的结构，而不均匀的干燥过程则容易引发颗粒问题。</p> <p>为了解决这个问题，我们设计了分区式红外干燥面板。该面板利用可控的局部热能来干燥晶圆，从而避免对光阻层造成损伤。</p>