http://warm-ir-heater-expert.com/vi/tags/d%E1%BB%B1-ph%C3%B2ng/ Recent content in Dự Phòng on Expert Warm IR Heating Solutions Hugo vi Sun, 31 May 2026 02:24:28 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/vi/posts/asml-lithography-lamp-spare/ Sun, 31 May 2026 02:24:28 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/vi/posts/asml-lithography-lamp-spare/ <p><img src="http://warm-ir-heater-expert.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Bóng đèn dự phòng máy khắc ASML"></p> <p>Trên sàn fab, ô lithography có một ngân sách nhiệt cố định. Soft bake và hard bake không phải là các núm điều chỉnh có thể tùy ý thay đổi—chúng là các giới hạn cứng. Khi công suất đèn dao động, hồ sơ photoresist thay đổi, độ đồng đều kích thước (CD) bị ảnh hưởng, và tỷ lệ sản phẩm bắt đầu giảm trước khi trạm kiểm tra khuyết tật kịp phát hiện. Một đèn dự phòng không giữ được điểm đặt trong dung sai chặt chẽ không giúp bạn có thêm thời gian. Nó mang lại thời gian ngừng hoạt động không kế hoạch và công việc làm lại.</p>