http://warm-ir-heater-expert.com/uk/tags/peb/ Recent content in (PEB) on Expert Warm IR Heating Solutions Hugo uk Wed, 17 Jun 2026 11:10:57 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/uk/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Wed, 17 Jun 2026 11:10:57 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/uk/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-expert.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Нагрівач для післяекспозиційної обробки (PEB)"></p> <p>На поверхні платформи для літографії саме рівномірність температури PEB по всій площі відрізка керує процесом контролю координат та точності нанесення матеріалу на поверхню кристала. Навіть незначні зміни температури – кілька десятих градуса – можуть порушити процес хімічного посилення ефекту фотополімеру, змінити параметри біасу та селективність етчингу. Це означає, що потрібно витрачати години на процедуру експозиції та вимірювань даремно.</p> <p><strong>Що є важливим з технічної точки зору</strong><br> Ми розробляємо нагрівач PEB так, щоб температура на поверхні кристала залишалась стабільною в межах ±0,1°C протягом усього процесу випалювання фотополімеру. Платформа дозволяє виконувати як помірний, так і інтенсивний процес випалювання; швидкість зміни температури контролюється, щоб уникнути коливань температури між різними партіями продукції.</p>