http://warm-ir-heater-expert.com/tr/tags/peb/ Recent content in (PEB) on Expert Warm IR Heating Solutions Hugo tr Wed, 17 Jun 2026 11:10:56 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/tr/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Wed, 17 Jun 2026 11:10:56 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/tr/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-expert.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Maruziyet sonrası ısıtıcı (PEB)"></p> <p>Litografi bölümünde, wafer ü<a href="https://goldisgood.com">zerindeki</a> PEB sıcaklığının eşit olması, CD kontrolünü ve ürün kalitesini belirleyen temel faktördür. Sadece birkaç ondalık derecelik bir değişim bile fotoresistlerin kimyasal tepkimesini bozar, gerilimi değiştirir ve aşındırma işleminin seçiciliğini etkiler. Bu durumda <a href="https://o-yate.com">saatlerce</a> süren işlemler boşa gider.</p> <p><strong>Teknik açıdan önemli olanlar</strong> PEB ısıtıcısını, waferin sıcaklık değerlerinin ±0,1°C aralığında sabit kalmasını sağlayacak şekilde tasarlıyoruz. Fotoresistlerin pişirilme sıcaklığı da tüm süre boyunca belirlenen değerde tutulur. Platform hem yumuşak hem de sert pişirme işlemlerini gerçekleştirir; böylece farklı partiler arasındaki sıcaklık farklarından kaynaklanan sorunlar ortadan kalkar.</p>