http://warm-ir-heater-expert.com/ru/tags/%D1%84%D0%BE%D1%82%D0%BE%D1%80%D0%B5%D0%B7%D0%B8%D1%81%D1%82/ Recent content in Фоторезист on Expert Warm IR Heating Solutions Hugo ru Wed, 10 Jun 2026 01:35:24 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/ru/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Wed, 10 Jun 2026 01:35:24 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/ru/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-expert.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Лампа для равномерного прогрева фоторезиста"></p> <p>На производственном этаже сдвиг температуры софт-бейка на 0,2°C может привести к значительным повреждениям. Вы наблюдаете истончение фоторезиста по краям, расширение критических размеров и впустую сожженную литографическую пропускную способность. Эта печь с лампой была разработана для предотвращения такого сдвига до его появления.</p> <p>Технически важно, что мы проектируем профиль запекания вокруг подложки, а не камеры. Лампа обеспечивает тепловую однородность на уровне подложки с точностью ±0,1°C по всему диаметру, быстро стабилизируется и повторяет параметры из партии в партию. Нагревательные элементы из углеродного волокна и оптика в ближнем инфракрасном диапазоне обеспечивают стабильный и быстрый отклик без горячих точек. Работает в чистых помещениях класса 1–100 и не генерирует частиц — подтверждено мониторингом частиц in-situ. Расчетна на круглосуточную работу 7×24, показывает отсутствие внеплановых простоев за тысячи циклов, а выходные параметры остаются стабильными более 5000 часов.</p>