http://warm-ir-heater-expert.com/nl/tags/wafer/ Recent content in Wafer on Expert Warm IR Heating Solutions Hugo nl Thu, 02 Jul 2026 02:49:47 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/nl/posts/energy-efficient-wafer-heater/ Thu, 02 Jul 2026 02:49:47 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/nl/posts/energy-efficient-wafer-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-expert.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Energie efficiënte waferverwarmer"></p> <p>Op de lithografieafdeling weet je dat een verschil van 0,3°C tijdens het zachte bakproces al voldoende is om de cruciale afmetingen met enkele nanometers te veranderen. Eén enkel deeltje op een hete oppervlak kan al schade aan de chip veroorzaken. De heater voor de wafer moet niet alleen heet worden, maar ook een consistente, uniforme warmtestroom leveren, dag na dag – zonder onnodig veel energie te verbruiken.</p> <p>Wat belangrijk is, is dat de temperatuur goed te meten is. We gebruiken kortegolflange infraroodstraling, vergezeld van een kwartsversterkt emissiearray. Hierdoor wordt er een uniformiteit van ±0,1°C bereikt over het actieve gebied van de wafer. Zowel het zachte als het harde bakproces vindt plaats binnen strikte thermische grenzen. De setpoint blijft stabiel en het systeem herstelt zich snel wanneer de deur wordt geopend.</p>