http://warm-ir-heater-expert.com/nl/tags/peb/ Recent content in (PEB) on Expert Warm IR Heating Solutions Hugo nl Wed, 17 Jun 2026 11:10:55 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/nl/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Wed, 17 Jun 2026 11:10:55 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/nl/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-expert.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Verhitting na blootstelling (PEB) verwarmer"></p> <p>Op de lithografiefaciliteit is de temperatuuruniformiteit over het oppervlak van de wafer degene die <a href="https://henruite.com">bepalend</a> is voor de controle van de CD-waarde en de kwaliteit van het eindproduct. Zelfs een verschil van een paar tiende graden kan de chemische reacties van de fotoresist verstoren, de spanningen veranderen en de selectiviteit bij het eten beïnvloeden. Hierdoor moet er veel tijd worden besteed aan belichting en meting, zonder dat dit tot een goed resultaat leidt.</p> <p><strong>Wat technisch gezien belangrijk is:</strong> We <a href="https://o-yate.net">proberen</a> de temperatuur rondom de wafer op ±0,1°C te houden. De temperatuur van de fotoresist wordt ook constant gehouden gedurent het hele proces. De platform kan zowel een zachte als een harde bakprocedure uitvoeren, met constante snelheden. Hierdoor hoeft men zich geen zorgen te maken over temperatuurverschillen tussen verschillende batches.</p>