Kosten van infrarood waferverwarmerlamp

Tue, 09 Jun 2026 00:51:12 +0800

Op de fabrieksvloer kan een kleine afwijking in de temperatuur van de soft bake van photoresist stilletjes de overlay marge en de CD uniformiteit aantasten. De infrarode wafer heater lamp bevindt zich precies in het hart van dat thermische budget. De operationele kosten zijn niet alleen een lijnitem—ze beïnvloeden de opbrengst en doorvoer op echte, meetbare manieren.

Wat technisch belangrijk is

We bouwen de lamp rond kortgolvige infraroodemitters, afgestemd op de manier waarop photoresist en oplosmiddelen energie absorberen. Dit zorgt voor een snelle energietoevoer met een lage thermische traagheid. Over het bakoppervlak blijft de uniformiteit op wafer-niveau binnen ±0,1°C, en de herhaalbaarheid van shift tot shift blijft binnen ±0,2°C. De emitterarray is ontworpen voor gebruik in een cleanroom van klasse 1–100 en genereert geen deeltjes. Het kwartsvenster en de reflector geometrie houden het afgassen laag. De output blijft stabiel over meer dan 5.000 uur, met een intensiteitsafwijking van minder dan 5%—zodat uw procesvenster niet met de output meebeweegt.

Kosten on Expert Warm IR Heating Solutions

Kosten van infrarood waferverwarmerlamp

Wat technisch belangrijk is