http://warm-ir-heater-expert.com/ko/tags/uhp-%EC%B4%88%EA%B3%A0%EC%95%95/ Recent content in UHP (초고압) on Expert Warm IR Heating Solutions Hugo ko Sun, 07 Jun 2026 01:09:04 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/ko/posts/uhp-ultra-high-purity-heater-lamp/ Sun, 07 Jun 2026 01:09:04 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/ko/posts/uhp-ultra-high-purity-heater-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-expert.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="UHP (초고순도) 히터 램프"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>리소그래피 공정에서 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순한 열처리 단계를 넘어서 노광 조건을 결정한다. 웨이퍼 전반에 걸친 2°C 온도 변화는 임계 치수(CD)를 나노미터 단위로 이동시키며, 하나의 램프 입자도 다이를 불량으로 만들 수 있다. 열은 추측이 아니라 규격처럼 작동해야 한다.</p>