http://warm-ir-heater-expert.com/ko/tags/%ED%8F%AC%EC%8A%A4%ED%8A%B8/ Recent content in 포스트 on Expert Warm IR Heating Solutions Hugo ko Wed, 17 Jun 2026 11:10:56 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/ko/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Wed, 17 Jun 2026 11:10:56 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/ko/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-expert.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="노출 후 베이킹(PEB) 히터"></p> <p>리소그래피 공정에서는 웨이퍼 전체에 걸친 PEB의 온도 균일성이 CD 제어와 오버레이를 결정하는 핵심 요소입니다. 단 몇 십 분의 일 도라는 미세한 온도 변화만으로도 포토레지스트의 화학적 증폭이 왜곡되고, 바이어스가 변하며, 에칭 선택성도 달라집니다. 그 결과, 노출 및 측정 과정에 수시간을 낭비하게 됩니다.</p>