반도체 청정실용 트롤리 히터

와퍼를 가열하는 대신 장비 자체를 가열하는 것을 그만두세요. 만약 반도체 처리용 장비에 전통적인 대류식 또는 전방향 가열기를 사용해본 적이 있다면, 그 불편함을 잘 알고 있을 것입니다. 엄청난 양의 에너지가 소모되지만, 그 중 절반은 장비 내부 벽면에 흡수됩니다. 이...