http://warm-ir-heater-expert.com/ko/tags/%EA%B0%90%EA%B4%91%EC%A0%9C/ Recent content in 감광제 on Expert Warm IR Heating Solutions Hugo ko Wed, 10 Jun 2026 01:35:24 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/ko/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Wed, 10 Jun 2026 01:35:24 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/ko/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-expert.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="균일성 포토레지스트 베이크 램프"></p> <p>Fab 라인에서 소프트 베이크 시 0.2°C의 온도 편차만으로도 대량 불량이 발생할 수 있다. 포토레지스트가 가장자리에서 얇아지고, 임계 치수가 넓어지며, 리소그래피 생산성이 무의미하게 소모되는 현상을 관찰하게 된다. 이 베이크 램프는 그러한 편차가 발생하기 전에 이를 차단하도록 설계되었다.</p>