http://warm-ir-heater-expert.com/ja/tags/%E5%87%A6%E7%90%86/ Recent content in 処理 on Expert Warm IR Heating Solutions Hugo ja Tue, 30 Jun 2026 01:21:24 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/ja/posts/optical-wafer-processing-heater/ Tue, 30 Jun 2026 01:21:24 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/ja/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-expert.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="光学ウェーハ処理用ヒーター"></p> <p>ファブ内では、焼成工程が製品の品質を左右する重要なステップです。ソフトベイクの場合、温度が2℃<a href="https://o-yate.net">程度変動</a>すると、ウェーハの寸法もナノメートル単位で変わってしまいます。均一でないハードベイクを行うと、表面に汚れが付着したり、接着不良が発生したりします。<a href="https://goldisgood.com">光学式</a>ウェーハ加熱装置は、ウェーハ自体をセンサーとして利用することで、再現性の高い温度制御を実現します。</p> <p><strong>内部構造の重要性</strong> これらの光学式加熱装置は、シリコンやフォトレジストがどのように熱を吸収するかに合わせて、短波赤外線光源と石英窓を使用して設計されています。その結果、活性領域<a href="https://henruite.com">全体</a>で±0.1℃の精度で温度を維持でき、負荷がかかっても±0.5℃未満の安定した設定温度を実現できます。温度上昇速度は最大10℃/秒であり、これにより下層の薄膜に負担をかけることなく、熱量を効率的に制御できます。</p>