半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

ウェハーを温めるのではなく、装置自体を温めるのはやめましょう。 もし、従来の対流式や全方位加熱器を半導体処理用の装置に使ったことがあるなら、その手間の多さをよく知っているはずです。たくさんのエネルギーを消費しても、その半分は装置の内壁に吸収されてしまいます。 これは非常に非効率的です。装置のチ...