エネルギー on Expert Warm IR Heating Solutions

省エネ型半導体ヒーター

Fri, 24 Jul 2026 09:05:49 +0800

半導体製造において、熱風の代わりに赤外線を利用しよう
まず、熱風を使うことの問題点について話しましょう。それは、速度が遅いということです。ウェーハに熱を伝えるために空気を加熱する必要があるのですが、これはまるで、あまり役に立たない中間者を介在させているようなものです。高度な処理においては、この遅延が大きな障害となり、全体の工程の効率を低下させてしまいます。

ファブ乾燥プロセスのエネルギー審査

Tue, 21 Jul 2026 01:43:36 +0800

熱の無駄遣いをやめよう：より効率的な乾燥方法

もし近代的な製造ラインを構築するつもりなら、まず最初に古くから使われてきた対流式ヒーターを捨てるべきです。それらは効率が悪く、使い勝手も悪いのです。私が話をするエンジニアたちのほとんどは、高効率な赤外線式システムを採用しています。なぜでしょうか？それは、エネルギーを直接製品に送り込むことができるからです。これは、生産ラインがデジタル化されている場合に必要なことです。

正確なデータの取得
スマートな製造ラインでは、リアルタイムのデータが重要です。そこで赤外線式システムが役立ちます。オーブンのように大きな空間を温めてみて、うまくいくことを願うのとは違い、赤外線式システムでは出力を即座に調整できます。
私たちは、高速スイッチング機能を持つSSRを使って、このシステムをPLCコントローラーと直接接続します。そうすることで、ウェーハや基板に残っている水分量を正確に把握し、その場で加熱量を調整できます。もう過剰な加熱やエネルギーの無駄遣いはありません。

省エネ型ウェーハヒーター

Thu, 02 Jul 2026 02:49:47 +0800

リソグラフィー工程においては、ソフトベイク時の0.3℃程度の温度変動でさえ、デバイスの寸法がナノメートル単位で変わってしまうことがあります。高温な表面上の一つの粒子だけでも、チップを壊してしまう可能性があります。ウェーハヒーターは単に熱を発するだけでは不十分で、日々、再現性の高く、均一な加熱性能を提供しなければなりません。無駄な電力消費も避ける必要があります。