http://warm-ir-heater-expert.com/id/tags/peb/ Recent content in (PEB) on Expert Warm IR Heating Solutions Hugo id Wed, 17 Jun 2026 11:10:56 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/id/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Wed, 17 Jun 2026 11:10:56 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/id/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-expert.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Pemanas untuk proses Post Exposure Bake (PEB)"></p> <p>Di area litografi, keseragaman suhu PEB di seluruh permukaan waferlah yang sebenarnya menentukan kualitas proses kontrol CD dan overlay. Perubahan suhu sekecil beberapa desibel saja sudah cukup untuk mengganggu proses amplifikasi kimia pada bahan fotoresist, mengubah nilai bias, serta mempengaruhi selektivitas proses etching. Akibatnya, waktu yang digunakan untuk proses eksposur dan pengukuran menjadi sia-sia.</p> <p><strong>Apa yang penting secara teknis?</strong> Kami merancang pemanas PEB sedemikian rupa agar suhu di sekitar wafer tetap stabil pada kisaran ±0,1°C. Suhu pemanggangan bahan fotoresist juga dipertahankan pada nilai yang telah ditentukan sepanjang proses pemanggangan. Platform ini mampu melakukan proses pemanggangan secara lambat maupun cepat, dengan laju peningkatan suhu yang tetap konstan. Dengan demikian, tidak perlu lagi khawatir akan fluktuasi suhu antara batch-batch produksi yang berbeda.</p>