http://warm-ir-heater-expert.com/he/tags/spare/ Recent content in Spare on Expert Warm IR Heating Solutions Hugo he Sun, 31 May 2026 02:24:28 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/he/posts/asml-lithography-lamp-spare/ Sun, 31 May 2026 02:24:28 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/he/posts/asml-lithography-lamp-spare/ <p><img src="http://warm-ir-heater-expert.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="נורה חלופית למערכת הליתוגרפיה של ASML"></p> <p>בקומת הייצור, תא הליתוגרפיה מוגבל לתקציב תרמי קבוע. אפיית רכה ואפיית קשה אינן פרמטרים שניתן לשנות בהתאמה חופשית – הן מגבלות קבועות. כאשר תפוקת הנורה משתנה, פרופיל הפוטורזיסט מתזוז, אחידות ה-CD נפגעת, והתפוקה מתחילה לרדת עוד לפני שתחנת סקירת הליקויים מזהה זאת. נורה חלופית שאינה שומרת על נקודת ההגדרה בטולרנסים צפופים אינה מקנה זמן נוסף – היא גורמת להורדת פעילות בלתי מתוכננת ולעבודות תיקון חוזרות.</p> <p>פיתחנו את תוכנית הנורות החלופיות לליתוגרפיה של ASML סביב רעיון פשוט אחד: שליטה תרמית חייבת להיות ניתנת לחזרה, נקייה ואמינה – 24/7. כל יחידה מוגדרת לספק עוצמת קרינה יציבה ופרופילי טמפרטורה מבוקרים לאורך מסלולי החשיפה והאפייה, כך שתהליך הפוטורזיסט ישאר בתחום המפרט, משמרת אחרי משמרת.</p>