http://warm-ir-heater-expert.com/he/tags/%D7%97%D7%A9%D7%99%D7%A4%D7%94/ Recent content in חשיפה on Expert Warm IR Heating Solutions Hugo he Wed, 17 Jun 2026 11:10:58 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/he/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Wed, 17 Jun 2026 11:10:58 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/he/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-expert.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="מחמם לאחר חשיפה (PEB)"></p> <p>בחדרי הליתוגרפיה, האחידות בטמפרטורה של PEB לאורך כל הוואף היא זו שקובעת את איכות התהליך. שינוי של כמה עשיריות מעלה בלבד יכול לפגוע בתהליך ההגדלה הכימי של הפוטורזיסט, לשנות את המתחים החשמליים, ולגרום לשינויים ברמת האטום של החומר – וזה משמעו שאורך הזמן הנדרש לתהליך החשיפה והמדידה עולה בצורה מיותרת.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית</strong> אנו יוצרים את מערכת החימום של PEB כך שהטמפרטורה תהיה אחידה ברמה של ±0.1°C לאורך כל הוואף. טמפרטורת החימום של הפוטורזיסט נשמרת בדיוק ברמה הרצויה לאורך כל תהליך החימום. המערכת מאפשרת חימום רגוע וחימום אינטנסיבי, עם שינויי טמפרטורה קבועים – כך שאין צורך להתמודד עם שינויים בטמפרטורה בין שלבי הייצור השונים.</p>