Lampe chauffante UHP (Ultra Haute Pureté)

Sun, 07 Jun 2026 01:09:04 +0800

Sur le plancher lithographique, les cuissons douce et dure ne sont pas seulement des étapes thermiques — elles déterminent l’exposition. Une dérive de 2°C sur la tranche modifie la dimension critique de quelques nanomètres, et une seule particule issue d’une lampe peut compromettre une puce. La chaleur doit se comporter comme une spécification, pas comme une approximation.

Ce qui importe en interne
Nous avons conçu la lampe chauffante UHP autour d’éléments halogènes infrarouges à ondes courtes, scellés dans du quartz de haute pureté et certifiés pour une utilisation en salle blanche Class 1–100. La puissance de sortie est calibrée pour une réponse thermique rapide avec une uniformité au niveau de la tranche de ±0,1°C, de sorte que la cartographie thermique soit reproductible, cuisson après cuisson. La conception maintient les émissions particulaires à zéro en état stable, empêchant toute contamination dans la chambre de processus. Vous obtenez des budgets thermiques stables et reproductibles, une fiabilité 24/7, et des intervalles de maintenance mesurés en milliers d’heures, pas en semaines.
Pourquoi cela adhère à la photorésine
Le traitement de la photorésine est une question de température et de temps. Cette lampe applique la même température au même point sur la tranche à chaque fois, ce qui renforce le contrôle des dimensions critiques et réduit les rebuts. Une montée en température plus rapide raccourcit le cycle sans perte de contrôle du profil, et les matériaux compatibles salle blanche maintiennent le nombre de particules à bas niveau, là où le rendement se joue. La fenêtre process reste suffisamment large pour fonctionner au débit nominal, avec moins de recalibrations et moins d’arrêts non planifiés.
Ce qu’il faut maîtriser
L’installation se résume à un alignement optique précis et à une géométrie contrôlée des réflecteurs pour atteindre l’uniformité spécifiée. Changer des équipements sans requalification du champ thermique entraîne une dérive des résultats. La puissance de sortie est adaptée à la charge thermique de la chambre, tout retrofit doit donc vérifier la tension, les interfaces connecteurs et la compatibilité du refroidissement. Planifiez le changement avec une cartographie thermique et une référence particulaire, puis verrouillez le processus.

Pureté) on Expert Warm IR Heating Solutions

Lampe chauffante UHP (Ultra Haute Pureté)