Coût de la lampe chauffante à infrarouge pour wafer

Tue, 09 Jun 2026 00:51:12 +0800

Sur le plancher de production, une légère dérive de la température lors du soft bake du photoresist peut progressivement réduire la marge d’alignement (overlay) et l’uniformité des dimensions critiques (CD). La lampe chauffante infrarouge du wafer se trouve au cœur de cette gestion thermique. Son coût d’exploitation ne se limite pas à un simple poste budgétaire — il impacte le rendement et le débit de manière réelle et mesurable.

Ce qui compte, techniquement

Nous concevons la lampe autour d’émetteurs infrarouges à ondes courtes, calibrés pour correspondre à la manière dont le photoresist et les solvants absorbent l’énergie. Cela permet une livraison rapide d’énergie avec une faible inertie thermique. Sur la surface de cuisson, l’uniformité au niveau du wafer reste dans ±0,1°C, et la répétabilité d’un cycle à l’autre est maintenue dans ±0,2°C.
L’array d’émetteurs est conçu pour une utilisation en salle blanche Class 1–100 et ne génère aucune particule. La fenêtre en quartz ainsi que la géométrie du réflecteur minimisent la dégasification. La puissance de sortie reste stable après plus de 5 000 heures, avec une dérive d’intensité inférieure à 5 % — de sorte que votre fenêtre process ne dérive pas en même temps.

Coût on Expert Warm IR Heating Solutions

Coût de la lampe chauffante à infrarouge pour wafer

Ce qui compte, techniquement