http://warm-ir-heater-expert.com/fa/tags/spare/ Recent content in Spare on Expert Warm IR Heating Solutions Hugo fa Sun, 31 May 2026 02:24:28 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/fa/posts/asml-lithography-lamp-spare/ Sun, 31 May 2026 02:24:28 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/fa/posts/asml-lithography-lamp-spare/ <p><img src="http://warm-ir-heater-expert.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="چراغ یدکی لیتوگرافی ASML"></p> <p>در سالن تولید، سلول لیتوگرافی دارای بودجه حرارتی ثابتی است. مراحل نرم‌پخت و سخت‌پخت پارامترهایی نیستند که بتوان با آنها بازی کرد—آنها محدودیت‌های سخت‌گیرانه‌ای هستند. زمانی که خروجی لامپ دچار انحراف می‌شود، پروفیل فوتورزیست تغییر می‌کند، یکنواختی ابعاد بحرانی (CD) کاهش می‌یابد و بازده قبل از اینکه ایستگاه بازبینی نقص حتی آن را تشخیص دهد، شروع به افت می‌کند. لامپ یدکی که نتواند مقدار تنظیم شده را در محدوده تلرانس‌های سخت حفظ کند، زمان اضافه‌ای به شما نمی‌دهد بلکه باعث توقف‌های ناخواسته و دوباره‌کاری می‌شود.<br> ما برنامه لامپ یدکی لیتوگرافی ASML خود را حول یک ایده ساده ساختیم: کنترل حرارتی باید تکرارشونده، پاک و قابل اعتماد باشد—به صورت ۲۴/۷. هر واحد برای ارائه تابش پایدار و پروفیل‌های دمایی کنترل‌شده در مسیرهای نوردهی و پخت مشخص شده است، تا فرآیند فوتورزیست در هر شیفت مطابق مشخصات باقی بماند.</p>