http://warm-ir-heater-expert.com/fa/tags/peb/ Recent content in (PEB) on Expert Warm IR Heating Solutions Hugo fa Wed, 17 Jun 2026 11:10:56 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/fa/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Wed, 17 Jun 2026 11:10:56 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/fa/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-expert.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="هیتر پخت پس از قرار گرفتن در معرض تابش (PEB)"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، یکنواختی دمای PEB در سراسر ویفر، عامل کلیدی برای کنترل خطایات تصویربرداری و همچنین کنترل استحکام لایه‌های رزیستور فوتوگرافی است. حتی تغییرات جزئی در دما، می‌تواند باعث اختلال در فرآیند تقویت شیمیایی رزیستور فوتوگرافی، تغییر در مقدار ولتاژ ورودی، و تغییر در انتخابی بودن فرآیند حکاکی شود؛ در نتیجه، ساعت‌ها زمان صرف فرآیندهای تصویربرداری و اندازه‌گیری بیهوده خواهد شد.</p> <p><strong>آنچه از نظر فنی اهمیت دارد:</strong><br> ما هیتر PEB را به گونه‌ای طراحی کرده‌ایم که یکنواختی دمایی در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد باشد؛ همچنین دمای حرارتی مورد نیاز برای پخت رزیستور فوتوگرافی، در تمام مراحل فرآیند، دقیقاً بر روی مقدار تنظیم شده باقی می‌ماند. این سیستم هم فرآیند پخت ملایم و هم فرآیند پخت شدید را انجام می‌دهد؛ همچنین نرخ تغییر دما نیز ثابت است؛ بنابراین دیگر نیازی به کنترل مداوم تغییرات دما در بین محموله‌های مختلف نیست.</p>