http://warm-ir-heater-expert.com/de/tags/peb/ Recent content in (PEB) on Expert Warm IR Heating Solutions Hugo de Wed, 17 Jun 2026 11:10:55 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/de/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Wed, 17 Jun 2026 11:10:55 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/de/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-expert.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Heizgerät für die Nachbelichtung (PEB)"></p> <p>Auf der Lithografieebene ist die Temperaturhomogenität des PEB-Heizers über die gesamte Waferfläche entscheidend für die Kontrolle der CD-Werte sowie für die Genauigkeit der Bearbeitung. Schon eine Abweichung von ein paar Zehntel Grad stört die chemische Verarbeitung des Fotolacks, verändert die Spannungsverhältnisse und beeinflusst die Selektivität beim Ätzen – dadurch <a href="https://o-yate.net">werden</a> Stunden an Aufwand für Belichtung und Messungen umsonst investiert.</p> <p><strong>Was technisch wichtig ist:</strong> Wir gestalten den PEB-Heizer so, dass eine Temperaturhomogenität von ±0,1°C erreicht wird. Die Temperatur des Fotolacks wird während des gesamten Trocknungsprozesses konstant auf dem eingestellten Wert gehalten. Die Plattform ermöglicht sowohl einen sanften als auch einen intensiven Trocknungsprozess – mit wiederholbaren Steigraten. Dadurch entfällt die Notwendigkeit, ständig auf Temperaturschwankungen zwischen den Chargen zu reagieren.</p>