Oven mit Infrarotheizung für Reinräume

Thu, 09 Jul 2026 15:15:26 +0800

Wie wir die Heizsysteme in Reinräumen der Klasse 100 stets sauber halten
Es gibt eine zentrale Frage, mit der wir uns ständig auseinandersetzen müssen: Wie kann man in einem Reinraum der Klasse 100 eine starke Hitze erzeugen, ohne dass dabei auch nur eine einzige Staubpartikel in die Luft gelangt?
Wir haben unsere Infrarot-Heizlampen aus hochreinem Quarz hergestellt – genau dafür. Denn in solchen Umgebungen kann bereits ein winziger Staubkorn alles zerstören.
Das Prinzip ist einfach: Es wird eine starke, gezielte Wärme erzeugt – ohne dass die Luft bewegt wird. Unsere Lampen liefern die Wärme genau dort, wo sie benötigt wird, während der Rest des Raumes weiterhin sauber und unberührt bleibt.

Halbleiter Diffusionsöfenlampe

Fri, 03 Jul 2026 02:49:18 +0800

Im Produktionsbereich ist das thermische Gleichgewicht keine Empfehlung – es handelt sich dabei um eine Grenze, die unbedingt eingehalten werden muss. Ein paar Grad Abweichung während des Diffusionsprozesses oder beim Erhitzen des Photoresists führen dazu, dass die kritischen Abmessungen nicht mehr eingehalten werden können. Dadurch entstehen Ausschussteile. Die Kontrolle der Temperatur erfolgt durch die Ofenglühbirne – sie bestimmt damit, ob alles nach Plan verläuft oder nicht.

Was wirklich wichtig ist Wir verwenden Kurzwellenhalogenlampen in hochreinen Quarzkästen. Dadurch wird die Wärme schnell und gleichmäßig auf die Waferoberfläche abgegeben. Wir halten die Temperaturkonstanz bei ±0,1°C. Die geschlossene Regelung sorgt dafür, dass die Setpunkte stabil bleiben – mit einer Reaktionszeit von unter einer Sekunde. Das Ausgangssignal ist so gestaltet, dass es für die Penetration im Nahinfrarotbereich geeignet ist. Dadurch erhält der Photoresist eine konstante Energiemenge während des Erhitzungsprozesses – weniger Resonanzwellen, weniger Probleme an den Rändern.

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Oven mit Infrarotheizung für Reinräume

Halbleiter Diffusionsöfenlampe