http://warm-ir-heater-expert.com/de/tags/diffusion/ Recent content in Diffusion on Expert Warm IR Heating Solutions Hugo de Fri, 03 Jul 2026 02:49:18 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/de/posts/semiconductor-diffusion-furnace-lamp/ Fri, 03 Jul 2026 02:49:18 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/de/posts/semiconductor-diffusion-furnace-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-expert.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Halbleiter Diffusionsöfenlampe"></p> <p>Im Produktionsbereich ist das thermische Gleichgewicht keine Empfehlung – es handelt sich dabei um eine Grenze, die unbedingt eingehalten werden muss. Ein paar Grad Abweichung während des Diffusionsprozesses oder beim Erhitzen des Photoresists führen dazu, dass die kritischen Abmessungen nicht mehr eingehalten werden können. Dadurch entstehen Ausschussteile. Die Kontrolle der Temperatur erfolgt durch die Ofenglühbirne – sie bestimmt damit, ob alles nach Plan verläuft oder nicht.</p> <p><strong>Was wirklich wichtig ist</strong> Wir verwenden Kurzwellenhalogenlampen in hochreinen Quarzkästen. Dadurch wird die Wärme schnell und gleichmäßig auf die Waferoberfläche abgegeben. Wir halten die Temperaturkonstanz bei ±0,1°C. Die geschlossene Regelung sorgt dafür, dass die Setpunkte stabil bleiben – mit einer Reaktionszeit von unter einer Sekunde. Das Ausgangssignal ist so gestaltet, dass es für die Penetration im Nahinfrarotbereich geeignet ist. Dadurch erhält der Photoresist eine konstante Energiemenge während des Erhitzungsprozesses – weniger Resonanzwellen, weniger Probleme an den Rändern.</p>