http://warm-ir-heater-expert.com/cs/tags/p%C5%99%C3%ADsp%C4%9Bvek/ Recent content in Příspěvek on Expert Warm IR Heating Solutions Hugo cs Wed, 17 Jun 2026 11:10:57 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/cs/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Wed, 17 Jun 2026 11:10:57 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/cs/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-expert.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Ohřívač pro vysoušení po expozici (PEB)"></p> <p>V prostředí litografie je právě rovnoměrnost teploty PEB po celé ploše <a href="https://goldisgood.com">desky</a> to, co vlastně určuje kontrolu hodnoty CD a také kvalitu povrchu desky. I náznak posunu o několik desetin stupně může narušit chemické zesilování fotorezistu, změnit hodnoty napětí a ovlivnit selektivitu leptání – a to znamená, že strávíte hodiny na expozici a měření bez jakéhokoli výsledku.</p> <p><strong>Co je z technického hlediska důležité</strong><br> PEB ohřívač je navržen tak, aby zajistil rovnoměrnost teploty na úrovni desky v <a href="https://o-yate.net">rozmez</a>í ±0,1 °C. Teplota používaná při zpracování fotorezistu zůstává po celou dobu stejná. Platforma umožňuje jak mírné, tak i intenzivní zahřívání, přičemž rychlost zahřívání je nastavena tak, aby se minimalizovaly odchylky teploty mezi jednotlivými sériemi desek.</p>