http://warm-ir-heater-expert.com/cs/tags/bake/ Recent content in Bake on Expert Warm IR Heating Solutions Hugo cs Wed, 17 Jun 2026 11:10:57 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/cs/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Wed, 17 Jun 2026 11:10:57 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/cs/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-expert.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Ohřívač pro vysoušení po expozici (PEB)"></p> <p>V prostředí litografie je právě rovnoměrnost teploty PEB po celé ploše <a href="https://goldisgood.com">desky</a> to, co vlastně určuje kontrolu hodnoty CD a také kvalitu povrchu desky. I náznak posunu o několik desetin stupně může narušit chemické zesilování fotorezistu, změnit hodnoty napětí a ovlivnit selektivitu leptání – a to znamená, že strávíte hodiny na expozici a měření bez jakéhokoli výsledku.</p> <p><strong>Co je z technického hlediska důležité</strong><br> PEB ohřívač je navržen tak, aby zajistil rovnoměrnost teploty na úrovni desky v <a href="https://o-yate.net">rozmez</a>í ±0,1 °C. Teplota používaná při zpracování fotorezistu zůstává po celou dobu stejná. Platforma umožňuje jak mírné, tak i intenzivní zahřívání, přičemž rychlost zahřívání je nastavena tak, aby se minimalizovaly odchylky teploty mezi jednotlivými sériemi desek.</p> http://warm-ir-heater-expert.com/cs/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Wed, 10 Jun 2026 01:35:24 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/cs/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-expert.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Uniformní lampy pro pečení fotorezistů"></p> <p>Na výrobní hale může odchylka 0,2°C při soft bake vyřadit velké množství šarže. Sledujete, jak se fotorezist ztenčuje na okraji, rozšiřují se kritické rozměry a kapacita lithografie se zbytečně ztrácí. Tato pečicí lampa byla vyvinuta tak, aby zabránila vzniku této odchylky ještě před jejím projevením.</p> <p>Technicky je klíčové, že navrhujeme pečicí <a href="https://o-yate.com">profil</a> v rámci plátku, nikoliv komory. Lampa udržuje tepelnou uniformitu na úrovni plátku v rozsahu ±0,1°C po celém průměru, rychle se ustaluje a opakuje výsledky mezi jednotlivými šaržemi. Topné prvky z uhlíkových vláken a NIR optika poskytují stabilní a rychlou odezvu bez míst s přehřátím. <a href="https://o-yate.net">Provoz</a> je možný v čistých prostorách třídy 1–100 a nevznikají žádné částice – ověřeno monitorováním částic in-situ. Lampa je hodnocena na 7×24 provoz a dosud nezpůsobila žádné neplánované prostojové časy v tisících cyklů, přičemž výkon zůstává stabilní přes 5 000 hodin.</p>