http://warm-ir-heater-expert.com/cs/tags/%C3%BAklid/ Recent content in Úklid on Expert Warm IR Heating Solutions Hugo cs Mon, 22 Jun 2026 18:48:00 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/cs/posts/wafer-drying-lamp-after-cleaning/ Mon, 22 Jun 2026 18:48:00 +0800 http://warm-ir-heater-expert.com/cs/posts/wafer-drying-lamp-after-cleaning/ <p><img src="http://warm-ir-heater-expert.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Lampa na sušení waferů po čištění"></p> <p>V procesu sušení hned po čištění se <a href="https://o-yate.com">rozhoduje</a> o úrovni výnosů – buď je zachováte, nebo ne. Veškerá vlhkost, která zůstane na polovodičové desce, se později projeví jako mikrodefekty, což má negativní dopad na litografii: kontrola šířky pruhů se zhorší a adheze fotoresistu také klesne. Na to řešíme pomocí lamp na sušení polovodičových desek, které poskytují přesně regulované teplo, nikoli pouze náhodné nastavení.</p> <p><strong>Co je opravdu důležité</strong> Používáme krátkovlnné infračervené zahřívání, které umožňuje rychlý a kontrolovaný přenos energie do polovodičové desky a nosiče. Díky tomu dosahujeme teplotní jednotnosti na úrovni ±0,1 °C. Modul lampy je vyroben z křemíku a má konstrukci vhodnou pro čisté provozní podmínky – takže během stabilního provozu nevznikají žádné částice. V prostředí s čistotou třídy 1–100 není problém. Výstupní hodnoty zůstávají konzistentní po celou dobu, což zajišťuje stabilitu procesu ze série na sérii. Lampy také umožňují správné provádění procesů potřebných pro zpracování fotoresistu – a to bez nadměrného zahřátí nebo odchylek.</p>