ویکیوم میں مناسب حرارت فراہم کرنا
جب سیمی کنڈکٹرز تیار کیے جاتے ہیں، تو آخری چیز جس سے بچنا ضروری ہے، وہ یہ ہے کہ کوئی غیرمطلوب ذرہ ویفر کو نقصان پہنچائے۔ لیکن پھر بھی حرارت کی ضرورت ہے… اور بہت زیادہ حرارت کی۔ یہیں پر ویکیوم کے ماحول کے لئے موزوں آئی آر ہیٹرز کی اہمیت سامنے آتی ہے۔ ہوا یا گیس کے ذریعے حرارت پہنچانے کے بجائے، یہ ہیٹرز براہِ راست تابکاری کو سبستریٹ پر منتقل کرتے ہیں۔
یہ طریقہ بہت ہی درست اور مؤثر ہے۔
طاقت کثافت کا مسئلہ
ویکیوم میں تابکاری ہی واحد ذریعہ ہے جس کے ذریعے حرارت پہنچائی جاسکتی ہے۔ ہم ایسے ہیٹرز تیار کرتے ہیں جو تیزی سے اور زیادہ حرارت فراہم کرسکیں۔
اگر آپ اب بھی روایتی رزسٹیو ہیٹنگ کا استعمال کر رہے ہیں، تو آپ شاید بہت زیادہ توانائی ضائع کر رہے ہیں۔ یہ تو ایسے ہی ہے جیسے پورے گھر کو گرم کرنے کی کوشش کی جائے صرف اس لئے کہ ایک کپ کافی گرم رہے۔ شارٹ ویو آئی آر اس مسئلے کو حل کرتا ہے؛ یہ ویفر پر ہی حرارت پہنچاتا ہے، نہ کہ مشین پر۔
نتیجہ؟ عمل کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور بجلی کے اخراجات بھی کم ہو جاتے ہیں۔ یہ ایک آسان طریقہ ہے جس کے ذریعے کلین روم کو زیادہ ماحول دوست بنایا جاسکتا ہے، بغیر آپریٹرز کی زندگی کو مشکل بنائے۔
مواد کی اہمیت
آپ کسی بھی عام لیمپ کو ویکیوم میں استعمال نہیں کر سکتے۔ اگر آپ معیاری شیشہ استعمال کریں، تو وہ یا تو ٹوٹ جائے گا، یا کیمیکلز خارج ہونے لگیں گے… جو کہ بہت ہی خطرناک ہے۔ ہم اعلیٰ خالصیت والے سنتھیٹک کوارٹز کا استعمال کرتے ہیں، کیوں کہ یہ دباؤ کو برداشت کرسکتا ہے۔ ہم سیلز اور الیکٹروڈز کے معاملے میں بھی بہت محتاط ہیں۔ اگر سیل لیک ہو جائے، تو ویکیوم ختم ہو جاتا ہے… اور اگر کوئی چھوٹا سا ذرہ بھی باہر نکل جائے، تو ویفر بیکار ہو جاتا ہے۔ ہم ایسے خطرات کو قبول نہیں کرتے۔
تضادات
لیکن یہاں ایک مسئلہ ہے… جب آپ آئی آر ہیٹرز میں زیادہ واٹجز استعمال کرتے ہیں، تو آس پاس کے حصے بھی متأثر ہوتے ہیں۔ ویفر تیزی سے گرم ہو جاتا ہے، لیکن پھر اس سے پیدا ہونے والی حرارت کو کہیں جانا پڑتا ہے۔ اگر آپ کا کولنگ سسٹم اس حرارت کو سنبھالنے کے لئے کافی مضبوط نہ ہو، تو عمل میں خرابی پیدا ہو جاتی ہے۔ یہ بہت ہی پریشان کن ہے… لہذا آپ کو شروع سے ہی اپنے کولنگ سسٹم کو مناسب طریقے سے تیار کرنا ہوگا۔
لیکن اچھی بات یہ ہے کہ ہم نے ایسے ہیٹرز ڈیزائن کیے ہیں جنہیں بغیر کسی پریشانی کے استعمال کیا جاسکتا ہے… آپ اپنے پرانے ہیٹرز کو تبدیل کر سکتے ہیں، اور بجلی کی بچت کر سکتے ہیں… بغیر اپنی پوری فیبریکیشن لائن کو تباہ کیے۔