На поверхні пластини саме на етапі випалювання визначається якість продукту. Якщо температура випалювання змінюється на 2°C, критичні розміри пластини починають змінюватися на кілька нанометрів. А якщо процес випалювання не є однорідним? Це призводить до проблем з якістю поверхні пластини. Оптичні нагрівачі допомагають усунути ці проблеми, забезпечуючи точний контроль температури; сама пластина виступає у ролі сенсора.
Що є важливим?
Ми створили ці оптичні нагрівачі на основі джерел короткохвильового інфрачервоного випромінювання та кварцових вікон, які підходять для поглинання світла силіціумом та фотолаком. Це дозволяє досягти однорідності температури на всій активній поверхні пластини при значенні ±0,1°C, а стабільність температури при навантаженні – приблизно ±0,5°C. Швидкість підвищення температури може досягати 10°C/секунда, що дозволяє зменшити енергоспоживання без шкоди для поверхні пластини.
Ця система підходить для використання в чистих приміщеннях класу від 1 до 100. Ми також перевіряємо відсутність частинок пилу за допомогою спеціальних вимірювальних пристроїв. Повторюваність результатів перевищує 0,2°C протягом 500 циклів. Модулі можуть працювати щодня на великих потужностях без перерв.
Чому це підходить для літографії та обробки фотолаку?
У процесах літографії та обробки фотолаку необхідно, щоб тепло поширювалося швидко, залишалося стабільним та не залишало слідів. За допомогою оптичного нагрівання ми нагріваємо саму пластину, а не всю камеру. Це скорочує час обробки та усуває проблеми з перегрівом.
Результатом є кращий контроль розмірів пластини, менша кількість необхідних корекцій та менше відходів. Енергоспоживання знижується на 30% порівняно з традиційними нагрівачами. Крім того, менше потрібно замінювати матеріали, оскільки немає зношення поверхні пластини. І процес м’якого, і процес жорсткого випалювання відбувається в більш широких температурних діапазонах, без додаткового теплового навантаження.
Практичні нюанси
Ці нагрівачі потребують стабільного джерела живлення та точного оптичного вирівнювання для забезпечення однорідності температури. Вони призначені для пластин розміром 150/200/300 мм та можуть інтегруватися зі стандартними системами через протокол SECS/GEM. Перед встановленням необхідно переконатися, що обладнання підтримує цей протокол.
Необхідно провести короткий тестовий запуск, щоб налаштувати параметри нагрівання для конкретного типу фотолаку. Після цього процес буде працювати стабільно.