การให้ความร้อนในสภาพสุญญากาศอย่างมีประสิทธิภาพ
เมื่อคุณผลิตชิป semiconductor สิ่งสุดท้ายที่คุณไม่อยากให้เกิดขึ้นก็คือมีอนุภาคสิ้นเปลืองมาทำลายแผ่นวัสดุที่ใช้ในการผลิต แต่คุณก็ยังจำเป็นต้องใช้ความร้อน—และต้องใช้ในปริมาณมากด้วย นี่คือจุดที่เครื่องทำความร้อนแบบ IR ที่เหมาะสมสำหรับสภาพสุญญากาศเข้ามามีบทบาท แทนที่จะใช้อากาศหรือก๊าซในการถ่ายเทความร้อน (ซึ่งไม่มีประสิทธิภาพเลยในสภาพสุญญากาศ) เครื่องทำความร้อนแบบนี้จะส่งพลังงานรังสีไปยังแผ่นวัสดุโดยตรง
วิธีนี้สะอาด และมีประสิทธิภาพสูง
ปัญหาเรื่องความหนาแน่นของพลังงาน
ในสภาพสุญญากาศ รังสีคือสิ่งเดียวที่สามารถนำมาใช้ในการให้ความร้อนได้ เราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนให้สามารถส่งพลังงานได้อย่างรวดเร็วและมีประสิทธิภาพ
หากคุณยังคงใช้เครื่องทำความร้อนแบบเดิม คุณก็กำลังเสียพลังงานไปเปล่าๆ เพียงเพื่อทำให้ผนังของห้องมีอุณหภูมิสูงขึ้นเท่านั้น มันเหมือนกับการพยายามทำให้บ้านทั้งหลังมีอุณหภูมิสูงขึ้นเพียงเพื่อรักษาอุณหภูมิของกาแฟหนึ่งแก้วเท่านั้น แต่เครื่องทำความร้อนแบบ IR จะช่วยแก้ปัญหานี้ได้ เพราะมันจะส่งพลังงานไปยังแผ่นวัสดุโดยตรง
ผลลัพธ์ก็คือ เวลาที่ใช้ในการเริ่มกระบวนการผลิตจะลดลง และค่าใช้จ่ายด้านไฟฟ้าก็จะลดลงด้วย นี่เป็นวิธีง่ายๆ ในการทำให้ห้องผลิตมีสภาพแวดล้อมที่ดีขึ้น โดยไม่ต้องทำให้การทำงานของผู้ปฏิบัติงานยากขึ้น
วัสดุมีความสำคัญมาก
คุณไม่สามารถนำเครื่องทำความร้อนธรรมดามาใช้ในสภาพสุญญากาศได้ หากคุณใช้แก้วธรรมดา มันอาจแตก หรือมีสารเคมีรั่วออกมา ซึ่งจะส่งผลเสียต่อคุณภาพของชิปที่ผลิตได้ เราจึงใช้ควอตซ์สังเคราะห์ที่มีความบริสุทธิ์สูง เพราะมันสามารถทนต่อแรงกดดันได้ดี นอกจากนี้ เรายังใส่ใจเรื่องการปิดผนึกและขั้วไฟฟ้าด้วย หากการปิดผนึกไม่ดี สุญญากาศก็จะหายไป และหากมีอนุภาคเล็กๆ หลุดออกมา แผ่นวัสดุก็จะเสียหายไป เราจึงไม่กล้าเสี่ยงแบบนั้น
ข้อเสีย
อย่างไรก็ตาม มีข้อเสียอยู่เหมือนกัน นั่นก็คือ เมื่อคุณใช้พลังงานมากขนาดนั้นกับเครื่องทำความร้อนแบบ IR ส่วนประกอบอื่นๆ ก็จะได้รับผลกระทบด้วย แผ่นวัสดุจะร้อนขึ้นอย่างรวดเร็ว แต่ความร้อนที่สะท้อนกลับมาก็ต้องมีที่ไป หากระบบระบายความร้อนของคุณไม่เพียงพอ คุณก็จะเจอปัญหาเรื่องอุณหภูมิ ซึ่งจะทำให้การควบคุมกระบวนการผลิตยากขึ้น คุณต้องมั่นใจว่าระบบระบายความร้อนมีประสิทธิภาพตั้งแต่เริ่มต้น
ข่าวดีก็คือ เราออกแบบเครื่องทำความร้อนเหล่านี้ให้สามารถใช้แทนเครื่องทำความร้อนแบบเดิมได้โดยตรง คุณสามารถเปลี่ยนเครื่องทำความร้อนเก่าๆ ออก และลดการสูญเสียพลังงานได้ โดยไม่ต้องถอดชิ้นส่วนอื่นๆ ออกมาเลย