การรักษาความปลอดภัย: เครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดในกระบวนการทำความสะอาดสารเคมี
เมื่อทำงานกับสายการผลิตชิป semiconductors โดยปกติแล้วเรามักจะใช้สารละลายที่ไม่สามารถทนต่อประกายไฟได้เลย หากนำเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดมาใช้ร่วมด้วย ก็จะก่อให้เกิดปัญหาได้ เพียงแค่มีประกายไฟหรืออุณหภูมิสูงเกินไปเล็กน้อย ก็อาจก่อให้เกิดไฟไหม้ได้
เราแก้ปัญหานี้โดยการนำเครื่องทำความร้อนมาไว้ในโครงสร้างที่ช่วยป้องกัน โดยการแยกองค์ประกอบที่ใช้ทำความร้อนและเซ็นเซอร์อุณหภูมิออกจากกัน เพื่อไม่ให้สัมผัสกับก๊าซที่มีอยู่ในอากาศ
เคล็ดลับอยู่ที่การปิดผนึก
เราห่อหุ้มหลอดไฟด้วยซิลิกอนคุณภาพสูง และใช้วัสดุซีเมนต์ชนิดเซรามิก-โลหะเพื่อปิดผนึกไว้ นี่คือ “กำแพง” ที่ช่วยป้องกันไม่ให้ก๊าซเข้ามาสัมผัสกับหลอดไฟ หลอดไฟจะอยู่อีกฝั่งหนึ่ง ส่วนก๊าซก็จะอยู่อีกฝั่งหนึ่ง
สำหรับสายไฟ เราก็ไม่ประมาทเช่นกัน เราใช้ฉนวนชนิด PTFE หรือ PFA เพราะสารทำความสะอาดเหล่านี้สามารถกัดกินสายไฟธรรมดาได้ในเวลาอันรวดเร็ว
เราทำแบบเดียวกันกับเซ็นเซอร์อุณหภูมิด้วย เรานำเซ็นเซอร์มาไว้ในฉนวนที่แข็งแรง จากนั้นก็ใช้อีพ็อกซี่หรือวัสดุซีเมนต์คุณภาพสูงเพื่อปิดผนึกจุดเชื่อมต่อ เพื่อไม่ให้มีการรั่วไหลของก๊าซเข้ามาในตัวเครื่องไฟฟ้า ง่ายมากเลย
การควบคุมอุณหภูมิให้เหมาะสม
เคล็ดลับที่แท้จริงคือการมีระบบติดตามอุณหภูมิ เราวางเซ็นเซอร์อุณหภูมิไว้ติดกับซิลิกอนหรือแผ่นฐานของเครื่องทำความร้อน วิธีนี้จะช่วยลด “ความล่าช้าในการตรวจจับอุณหภูมิ” ซึ่งเป็นปัญหาที่ทำให้เซ็นเซอร์ไม่สามารถตรวจจับได้ว่าเครื่องทำความร้อนมีอุณหภูมิสูงเกินไปหรือไม่
นั่นหมายความว่าตัวควบคุม PID จะสามารถตรวจจับการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิได้ก่อนที่อุณหภูมิจะสูงถึงจุดวิกฤตของสารเคมี นี่คือสิ่งที่ทำให้เรามั่นใจได้ว่าจะไม่เกิดอันตราย
แต่ก็มีข้อเสียอยู่เหมือนกัน การมีการป้องกันที่แข็งแรงก็หมายความว่าหลอดไฟจะใช้เวลานานกว่าจะร้อนขึ้น ดังนั้นต้องมั่นใจว่าแหล่งจ่ายไฟสามารถรองรับกระแสไฟที่เพิ่มขึ้นได้
การตั้งค่าและการดูแลรักษา
เราสร้างอุปกรณ์เหล่านี้ขึ้นมาเพื่อให้สามารถใช้แทนอุปกรณ์เดิมได้โดยตรง เราจะไม่ส่งมอบอุปกรณ์จนกว่าจะทดสอบการปิดผนึกทุกจุดเพื่อให้แน่ใจว่าไม่มีการรั่วไหล หากการปิดผนึกล้มเหลว คุณสมบัติ “ป้องกันการระเบิด” ก็จะหายไป
เมื่อติดตั้งเสร็จแล้ว ก็ต้องคอยตรวจสอบซิลิกอนหุ้มหลอดไฟอย่างสม่ำเสมอ เพื่อหารอยแตก นี่เป็นนิสัยเล็กๆ น้อยๆ แต่เป็นวิธีเดียวที่จะทำให้มั่นใจได้ว่าระบบป้องกันความปลอดภัยจะยังคงทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ