Na linii o długości 300 mm cienka warstwa wody pozostająca po czyszczeniu może znacznie obniżyć efektywność procesu. Pozostała wilgoć zakłóca profil fotorezystu, a nierównomierne wysychanie stanowi doskonałe warunki dla powstawania cząsteczek.
Aby to naprawić, stworzyliśmy specjalny panel do suszenia płytek krzemowych, który wykorzystuje kontrolowaną energię infrarażącą zamiast promieniowania o szerokim spektrum. Dzięki temu płytki wysychają bez żadnego nacisku na warstwę fotorezystu.
Panel opiera się na emiterach światła ultrafioletowego, umieszczonych w oddzielnych strefach kontrolowanych niezależnie. Każda strefa zapewnia jednorodność temperatury na powierzchni płytki w przedziale ±0,1°C, co sprawia, że proces suszenia zachodzi w sposób spójny i powtarzalny.
Powłoka kwarcowa oraz hermetyczna obudowa zapobiegają powstawaniu cząsteczek, co zapewnia standardy czystości od 1 do 100. Moc wyjściowa na każdą strefę wynosi od 200 W do 1,2 kW. Panel jest projektowany tak, aby zapewniać ciągłą pracę przez całą dobę bez przerw.
Kontrola temperatury jest skoordynowana z czasem procesu suszenia fotorezystu, dzięki czemu uzyskuje się spójne wyniki – bez żadnych nadmiarowych efektów.
W praktyce oznacza to mniej konieczności ponownej obróbki płytek oraz lepszą kontrolę kluczowych wymiarów. Można zwiększyć wydajność bez konieczności usuwania wadliwych produktów, a także zmniejszyć zużycie energii, ponieważ ciepło jest dostarczane tylko tam, gdzie jest to konieczne.
Do suszenia płytek po czyszczeniu oraz do obróbki fotorezystu panel zapewnia suchą powierzchnię płytek, zachowuje integralność profilu fotorezystu i umożliwia ciągłą pracę linii produkcyjnej.
Instalacja jest prosta, ale istotna jest prawidłowa konfiguracja panelu. Panel musi być umieszczony tak, aby pasował do trajektorii ruchu płytek oraz do układu odprowadzania powietrza – w przeciwnym razie wilgoć będzie ponownie gromadzić się na płytkach.
Panel może być używany z standardowymi interfejsami, ale potrzebny jest dedykowany system chłodzenia, aby utrzymać stałą temperaturę emiterów. Dzięki temu panel zapewnia spójne i powtarzalne wyniki podczas each shiftu pracy.