W procesie litografii to właśnie jednolitość temperatury w obszarze PEB na całej powierzchni płytki decyduje o jakości procesu produkcji. Nawet niewielkie odchylenia temperatury mogą zakłócić proces amplifikacji chemicznej fotorezystu, zmienić wartości napięć oraz wpłynąć na selektywność procesu etchingu. W rezultacie tracimy godziny pracy na bezproduktywne próby ekspozycji i pomiarów.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia Staramy się uzyskać jednolitość temperatury na poziomie ±0,1°C w obszarze PEB. Temperatura podczas procesu wyżarzania fotorezystu musi pozostać na ustalonej wartości przez cały czas trwania procesu. Platforma umożliwia zarówno delikatne, jak i intensywne wyżarzanie, przy regularnych szybkościach regulacji – dzięki temu unikamy odchyleń temperatury pomiędzy poszczególnymi partiami produktów.
Emitory krótkofalowe typu kwarcowo-halogenowy zapewniają szybką i precyzyjną reakcję. Geometria strefy gorąca jest tak dobrana, aby zachować równowagę pomiędzy różnymi obszarami płytki. W warunkach czystych sal produkcyjnych klasy 1–100 używamy materiałów o niskiej ilości emisji gazów, co zapewnia brak tworzenia się cząstek podczas normalnej pracy. Dzięki temu liczba cząstek pozostaje w normie, bez konieczności dodatkowej filtracji.
Urządzenie jest projektowane tak, aby mogło pracować 24/7 w fabrykach z kilkoma zmianami, bez żadnych nieplanowanych przerw. Profil energetyczny jest tak skonstruowany, aby koszt produkcji jednej płytki pozostawał stabilny.
Dlaczego to rozwiązanie sprawdza się w rzeczywistej produkcji Potrzebujemy takiego urządzenia, które będzie działać tak samo o 3 rano, jak i o 3 po południu, niezależnie od warunków procesu i rozmiaru płytek. Ten grzejnik PEB zapewnia stabilność podczas procesu wyżarzania po ekspozycji, dzięki czemu kontrola jasności wiązki światła oraz precyzja procesu etchingu pozostają na odpowiednim poziomie. Wynikiem jest mniej konieczności ponownej obróbki produktów, lepsza jakość produktów oraz możliwość planowania czasu realizacji zamówień.
Co musisz wiedzieć na początku Instalacja tego urządzenia wymaga dokładnej integracji z systemem chłodzenia i systemem odprowadzania gazów. Konieczne jest przeprowadzenie krótkiego procesu kalibracji i dostosowania parametrów grzejnika dla każdego rodzaju fotorezystu. Gdy to zostanie zrobione, powtarzalność działania grzejnika zmniejsza liczbę koniecznych ustawień – ale ta początkowa kalibracja jest obowiązkowa.