लिथोग्राफी प्रक्रिया में, वेफर पर PEB का तापमान समान रहना ही CD नियंत्रण एवं ओवरले प्रक्रिया को सुचारू रूप से चलाने हेतु आवश्यक है। थोड़े से भी...

फैब फ्लोर पर, एक 0.2°C का ड्रिफ्ट सॉफ्ट बेक को पूरी तरह से नष्ट कर सकता है। आप फोटोरेसिस्ट को किनारे पर पतला होते हुए, महत्वपूर्ण आयामों को फैलते हुए...