फैब्रिकेशन लाइन पर, अंडरफिल क्यूरिंग कोई चरणबद्ध प्रक्रिया नहीं है; बल्कि यह ऐसी थर्मल प्रक्रिया है जिसे सटीक रूप से नियंत्रित करना आवश्यक है। यदि इसमें थोड़ी भी त्रुटि हो जाए, तो CTE में असंतुलन हो जाता है, खाली जगहें बन जाती हैं, और उत्पाद बेकार हो जाता है। हमने ठीक ऐसी ही परिस्थितियों को ध्यान में रखकर ही अपना IR क्यूरिंग प्लेटफॉर्म विकसित किया है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
यह सिस्टम, सब्सट्रेट पर ±0.1°C की स्थिरता बनाए रखता है; इसमें एरिया-वार नियंत्रण भी है। क्लीनरूम क्लास 1–100 की व्यवस्था डिज़ाइन में ही शामिल है – कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियाँ, HEPA-आधारित वायु प्रवाह, एवं ऐसी आंतरिक सतहें जिनसे कणों की मात्रा 0.1/cm³ से कम रहती है।
NIR ऊर्जा को सटीक रूप से नियंत्रित किया जाता है; इससे तेज़ एवं पूर्ण क्यूरिंग होती है, बिना ग्लास ट्रांज़िशन तापमान को अत्यधिक बढ़ाए। फोटोरेसिस्ट क्यूरिंग हेतु, सेटपॉइंट की पुनरावृत्ति 0.5°C के भीतर ही रहती है; इससे महत्वपूर्ण आयामों पर नियंत्रण बना रहता है।
उत्पादन में इसका लाभ क्या है?
इसे 24/7 चलाया जा सकता है, जिससे अप्रत्याशित रुकावटें कम हो जाती हैं। थर्मल रैम्प बार-बार दोहराए जाते हैं; इससे उत्पादन दक्षता बढ़ जाती है एवं पुनः कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है। ऊर्जा खपत भी कम हो जाती है – कम थर्मल मास एवं कम समय के कारण अनावश्यक ऊर्जा खर्च नहीं होता।
इसका परिणाम है – अच्छी चिपकने की क्षमता, नियंत्रित विकृति, एवं बैचों के बीच कम पुनः कैलिब्रेशन की आवश्यकता।
क्या योजना बनाने की आवश्यकता है?
इस प्लेटफॉर्म को स्थिर विद्युत आपूर्ति एवं निर्धारित दबाव/तापमान पर स्थिर शीतलन जल की आवश्यकता है – थर्मल स्थिरता इन दोनों पर ही निर्भर है। मौजूदा लाइनों में इसे एकीकृत करना आसान है; लेकिन पहले ही इसके लिए जगह निर्धारित करना आवश्यक है। वायु प्रवाह एवं सर्विसिंग हेतु आवश्यक स्थान भी आवश्यक है।
इसे एक हीटर के रूप में नहीं, बल्कि एक प्रक्रिया-उपकरण के रूप में ही देखें; ऐसा करने से यह हर दिन ±0.1°C की स्थिरता बनाए रखेगा।